本文摘要：我国首条自主研发生产的高精度第11代掩膜版在蓉诞生

本报讯(记者宋妍妍)23日，随着国内首条第11代高世代掩膜版项目的首张掩膜版产品在蓉下线，我国首条自主研发生产的高精度第11代掩膜版正式在蓉诞生。

我国首条自主研发生产的高精度第11代掩膜版在蓉诞生

本报讯(记者宋妍妍)23日，随着国内首条第11代高世代掩膜版项目的首张掩膜版产品在蓉下线，我国首条自主研发生产的高精度第11代掩膜版正式在蓉诞生。这标志着我国首次具备了超大尺寸面板用掩膜版的量产能力，实现了超高世代掩膜版的国产化。

“成都路维第11代掩膜版产品各项指标达到了行业内国际先进水平，有些指标甚至优于国际水平。”成都路维技术负责人介绍，伴随着成都路维首张第11代掩膜版产品的成功下线，路维光电实现了掩膜版产品线从低世代的G4.5、G6产品到高世代的G8.5、G11产品的跨越，完善了显示产业上游大尺寸掩膜版的布局。

什么是掩膜版?“以前相机冲印照片都要用底片，掩膜版的重要性就相当于显示面板的底片。”成都路维董事长杜武兵介绍，掩膜版是在含有铬等金属薄膜的玻璃基板上，形成复杂几何图形的图形转移板。例如在TFT-LCD等高端面板的曝光制程中，利用掩膜版以及曝光的手段就能够在玻璃等基板上形成线路。

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